1、废气预处理：废气在进入催化剂层之前，为了避免堵塞和催化剂中毒，要先通过预处理除去废气中的液滴、粉尘及催化剂的毒物。
2、预热装置：包括废气预热装置和催化剂燃烧器预热装置。因为催化剂都有一个催化活性温度（催化剂起燃温度），必须使废气和层的温度达到起燃温度才能进行催化燃烧，因此，必须设置预热装置。但对于排出的废气本身温度就较高的场合，如漆包线、绝缘材料、烤漆等烘干排气，温度可达300℃以上，则不必设置预热装置。预热器的热源可采用烟道气或电加热，目前采用电加热较多。当催化反应开始后，可尽量以回收的反应热来预热废气。在反应热较大的场合，还应设置废热回收装置，以节约能源。
3、催化燃烧装置：一般采用固定催化反应器。按规范进行，应便于操作，方便，便于装卸催化剂。应根据具体情况对催化燃烧工艺合理设计，对于处理气量较大的场合，设计成分建式流程，即预热器、反应器装设，其间用管道连接对于处理气量小的场合，可采用催化焚烧炉把预热与反应组合在一起，但要注意预热段与反应段间的距离。在有机物废气的催化燃烧中，要控制有机物与空气的混合比，使之在下限；还要设监测报警装置和有防爆措施。
RCO催化燃烧装置设备优势：
1. 操作费用低，RCO一般在有机废气达到一定浓度（1000mg/m3以上）时，净化装置中的加热室不需进行辅助加热，节省了费用；
2. 不产生氮氧化物(NOX)等二次污染物；
3. 全自动控制、操作管理方便；
4. 由于是无火焰燃烧，所以安全性好，净化效率高达99%以上，特别适合处理连续排放的气体；
5. 对废气燃烧产生的热量进行了再利用，节约能耗；的热量回收率，热回收效率≥95%。
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