| 氢化锗（Germane），也称为锗烷，是一种化学试剂、可用于制取高纯度锗。分子式为GeH4，分子量为76.63,与硅烷不同，锗烷在空气中不自燃。GeH4能与空气混合而不发生化学变化，升温至160℃-183℃才逐渐被氧化（在低压下需要升温至320℃才起反应）。GeH4大约在280℃分解为锗和氢，375℃迅速分解,锗烷与过量氧的反应按下式进行：GeH4+ 2O2→ GeO2+ 2H2O,甲锗烷在较高温度下时分解为锗和氢气。这种对热不稳定性被用于半导体工业中，即有机金属化学气相沉积法（MOVPE）。由于甲锗烷毒性较大，某些有机锗化合物（如异丁基锗）可以替代甲锗烷，应用于MOVPE中。 |
